ระบบองค์ประกอบและลักษณะโครงสร้างของ CMM ในการประมวลผลชิ้นส่วนที่มีความแม่นยำ
ในด้านการประมวลผลชิ้นส่วนที่มีความแม่นยำ CMM ประกอบด้วยเมนเฟรม หัววัด และระบบไฟฟ้าเมนเฟรมประกอบด้วยโครงสร้างเฟรม ระบบไม้บรรทัด รางนำทาง อุปกรณ์ขับเคลื่อน อุปกรณ์ทรงตัว และอุปกรณ์เสริมแท่นหมุนระบบไฟฟ้าประกอบด้วยระบบควบคุมไฟฟ้า ฮาร์ดแวร์คอมพิวเตอร์ การวัดและซอฟต์แวร์ อุปกรณ์การพิมพ์และการวาดภาพ เป็นต้น ดังนั้น การใช้ CMM จำเป็นต้องมีความคุ้นเคยกับส่วนประกอบพื้นฐานของอุปกรณ์และทักษะพื้นฐานในการดำเนินการวัด
โครงสร้างของ CMM สามารถแบ่งออกได้เป็นชนิดสะพานเคลื่อนที่, ชนิดสะพานยึดอยู่กับที่, ชนิดโครงสำหรับตั้งสิ่งของ, ชนิดคานยื่น, ชนิดแขนแนวนอน, ชนิดคอลัมน์, ชนิดคว้านแนวนอน และชนิดโต๊ะเครื่องมือเมื่อใช้ ให้ใส่ใจกับลักษณะโครงสร้างและขอบเขตการใช้งานของเครื่องมือที่ใช้ตัวอย่างเช่น ประเภทของโมบายบริดจ์เป็นรูปแบบโครงสร้างที่ใช้กันอย่างแพร่หลายใน CMM ในปัจจุบัน ซึ่งมีโครงสร้างที่เรียบง่าย กะทัดรัด แข็งแรงดี และพื้นที่ค่อนข้างโล่ง
ชิ้นงานถูกติดตั้งบนโต๊ะทำงานแบบตายตัวที่มีความสามารถในการรับน้ำหนักสูง และคุณภาพของชิ้นงานไม่มีผลต่อประสิทธิภาพไดนามิกของเครื่องวัดในด้านการประมวลผลชิ้นส่วนที่มีความแม่นยำ CMM ขนาดเล็กและขนาดกลางมักใช้แบบฟอร์มนี้