การประมวลผลชิ้นส่วนที่มีความแม่นยำไม่สามารถทำให้เนื้อหาการประมวลผลทั้งหมดของพื้นผิวทั้งหมดเสร็จสิ้นในกระบวนการเดียวได้ และกระบวนการประมวลผลทั้งหมดของการประมวลผลชิ้นส่วนที่มีความแม่นยำสามารถแบ่งออกเป็นขั้นตอนต่อไปนี้
(1) ขั้นตอนหยาบลดค่าเผื่อการตัดเฉือนส่วนใหญ่ของพื้นผิวการประมวลผลแต่ละแบบ และการประมวลผลเกณฑ์มาตรฐานความแม่นยำ การพิจารณาหลักคือการเพิ่มผลผลิตให้ได้มากที่สุด
(2) ขั้นตอนกึ่งสำเร็จตัดข้อบกพร่องที่อาจเกิดขึ้นหลังจากการตัดเฉือนหยาบออก และเตรียมพร้อมสำหรับการเก็บผิวละเอียดของพื้นผิว โดยต้องการความแม่นยำในการตัดเฉือนและรับประกันค่าเผื่อการเก็บผิวละเอียดที่เหมาะสม ในขณะที่ทำการตัดเฉือนพื้นผิวทุติยภูมิให้เสร็จสิ้น
(3) ขั้นตอนสุดท้ายในขั้นตอนนี้ใช้ความเร็วตัดมาก อัตราป้อนน้อย และระยะกินลึก ลบขอบเก็บผิวสุดท้ายที่เหลือจากกระบวนการก่อนหน้า เพื่อให้พื้นผิวของชิ้นส่วนเป็นไปตามข้อกำหนดทางเทคนิคของการวาดภาพ
(4) ขั้นตอนสุดท้ายส่วนใหญ่ใช้เพื่อลดค่าความหยาบผิวหรือเสริมความแข็งแรงของพื้นผิวกลึง ส่วนใหญ่สำหรับความต้องการความหยาบผิวสูงมาก (ra ≤ 0.32 μm) การประมวลผลพื้นผิว
(5) ขั้นตอนการตัดเฉือนที่มีความแม่นยำสูงความแม่นยำในการตัดเฉือนในช่วง 0.1-0.01 μm ค่าความหยาบผิว ra ≤ 0.001 μm ขั้นตอนการประมวลผลวิธีการประมวลผลหลักคือ: การตัดอย่างแม่นยำ การเจียรกระจกแบบละเอียด การเจียรและการขัดแบบละเอียด ฯลฯ
